HM200系列用于RSP200/RSP150 SMIF 的手动开闭
HM200系列用于掩模厂以及代工厂黄光部门
详细使用请参考网站:
HM200系列用于RSP200/RSP150 SMIF 的手动开闭。
HM200 is used for RSP200/RSP150 SMIF POD open and close automatically.
HM200系列用于掩模厂以及代工厂黄光部门。
HM200 is used in mask shop and Photo department in Fabs.
HM200 系列让掩模版在加工及使用过程中更洁净。
HM200 makes mask process more convenient and cleaner.
| 主要指标(Critical Parameters) | 规格(Specification) |
| 长/宽/高 (L/W/H) | 790mm x 335mm x 120mm |
| Material | POM/SUS304 |
| Mask POD | RSP200/RSP150 (二选一,非兼容) |

