GM200系列用于RSP200/RSP150 SMIF 的自动开闭
GM200系列用于掩模厂以及代工厂黄光部门
详细使用请参考网站：
掩模版自动开合机 GM200
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产品描述
GM200系列用于RSP200/RSP150 SMIF 的自动开闭。
GM200 is used for RSP200/RSP150 SMIF POD open and close automatically.
GM200系列用于掩模厂以及代工厂黄光部门。
GM200 is used in mask shop and Photo department in Fabs.
GM200 系列让掩模版在加工及使用过程中更洁净。
GM200 makes mask process more convenient and cleaner.
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技术参数
主要指标（Critical Parameters） 规格（Specification） 长/宽/高 (L/W/H) 535mm×420mm×915mm 电源 220V Mask POD RSP200 / RSP150 (二选一，非兼容) 障碍物侦测(防手夹设计)功能 (选配) 掩模突起侦测功能 (选配) 开关盒扭力侦测功能 当不正常开关盒时，会自动停止 远程控制功能(SECS/GEM) 可支持远程自动化操控(选配) 软件扩充功能 可转换为计算机操控画面(选配)
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产品应用
